防静电(ESD)是指在两个不同电势的物体之间发生的电荷平衡。在电子工业，尤其是半导体工业，ESD会导致器件损坏，在生产中带来很多负面的结果，比如说原因不明的器件故障，降低了产能和设备生命周期，降低了产品质量和可靠性等等。防静电检测就是用来检测这个问题的。以下将介绍防静电的检测执行标准、检测项目和注意事项。
一、防静电检测执行标准
1、ANSI/ESD S20.20-2014
这是美国ESD协会发布的标准，主要是针对在生产环境中对静电的控制和管理，在这个标准中，主要包括：
（1）面积胶带电阻率的测量方法；
（2）人员防静电衣物的验证方法；
（3）接地系统的有效性检测方法；
（4）检测ESD敏感器件的方法。
2、GB/T 30042-2013
这是中国国家标准的标准，主要的内容是针对静电防护在生产和维修现场中的管理。GB/T 30042-2013主要分为以下部分：
（1）ESD的基础知识和风险评估；
（2）ESD危害管理的基本原则和方法；
（3）ESD防护设备和材料；
（4）ESD防护的实施和管理。
二、防静电检测项目
1、测量接地电阻
接地是静电防护的关键，所以测量接地电阻是检测静电防护的一项重要的项目。通常会采用万用表或接地测试器来测试接地的电阻值。根据标准规定，接地电阻值应该在1MΩ以下，可以根据实际环境进行相应地调整。
2、温湿度测量
温度和湿度是静电防护的两个重要因素，在检测中我们需要测量环境的温度和湿度，标准要求的温度范围为20℃-25℃，湿度范围为30%-70%RH.
3、面积胶带测试
静电控制区或者ESD安全区需要使用静电控制地域，通常采用面积胶带来实现，这个胶带的胶性是承载防静电层的一个关键性能指标，这个可以通过面积胶带电阻测试仪进行测量。
4、ESD安全区域验证
ESD防静电区域的划设和粘贴防静电标识、规范化防静电设备的使用与管理是ESD防静电工作的一个重要环节。需要根据标准规定进行专业的检测。
三、防静电检测注意事项
1、检测过程中需要遵守标准要求，仔细操作，确保准确测量。
2、定期检测防静电设备和场所，确保符合标准要求。
3、对于检测到的具体问题，采取有效措施进行纠正和处理。
4、防静电检测需要由专业的检测机构进行，避免误判或者漏检。
总之，在半导体工业生产中，防静电检测对于保证产品的质量和可靠性有着非常重要的作用。通过遵照标准要求进行检测，可以发现静电防护中的问题，消除或降低静电危害，提高生产效率，确保产品质量。