原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）是一种利用原子尺度的受力意义上的检测手段，作为一种非常具有前景的测试技术，已经在微电子、生物医学、纳米材料、化学等领域中得到了广泛应用。AFM技术的特点是可以在实际的环境中优化样品表面的成像，获取更加真实的成像效果。
在实际的应用中，AFM技术的成像效果和检测精度都受到检测机构的影响。检测机构的选择和设计将直接影响AFM的成像分辨率、灵敏度、稳定性和效率。下面将对AFM检测机构的分类及其特点进行简单的介绍。
扫描探针是AFM的核心部分，用于探测样品表面的高度、力学性质、磁学性质、电学性质等等。常见的探针有四种：刚性探针、弹性探针、刻蚀探针和化学修饰探针。刚性探针适用于硬样品，具有较好的扫描精度；弹性探针适用于软、薄层、复合材料等各种样品，能够更好地适应样品表面形貌；刻蚀探针适用于表面非常平整的样品，通常用于标度标记，化学修饰探针用于样品表面化学修饰等。
2. 扫描系统
扫描系统是AFM非常关键的一个部分，它可以实现对样品表面的高精度扫描。扫描系统必须具有稳定性、高分辨率和低噪声。主要分为两类：马达式扫描系统和压电扫描系统。马达式扫描系统可以带动笔尖沿样品表面移动，通过偏转电压控制扫描区域。压电扫描系统使用压电陶瓷（PZT）来驱动样品和扫描探针的运动。相对于马达式扫描系统，压电扫描系统具有较高的稳定性和精度，同时可以实现扫描速度、加速和停止时间的完全控制。
3. 力探头
力探头是AFM测量样品力学性质和力学性能的重要部分。力探头可以分为四类：压电材料制成的力传感器探头，基于光学干涉仪的光纤传感器探头，压电晶体制成的光栅探头和离子束制备的石墨微梁探头。不同的力探头具有不同的测量准确度和可靠性，需要根据实际需求进行选择。
4. 拓扑仿真软件
拓扑仿真软件是用于分析和处理样品表面拓扑信息的工具。这种软件根据样品扫描获得的数据，进行样品表面拓扑重建，带有成像实时跟踪和数据分析处理等功能。
综上所述，AFM检测机构在AFM测试中起着至关重要的作用。通过对扫描探针、扫描系统、力探头和拓扑仿真软件等检测机构的完善设计和选择，可以获得高质量的测试数据和优秀的成像效果，同时可以实现对样品表面的高精度扫描和分析，为各个领域的应用提供保障。