pvd镀层检测

发布时间:2023年4月26日 03:44
标签: 镀层| PVD| 检测

PVD镀层(Physical Vapor Deposition)是利用物理性蒸发的方法,将固体材料在高真空的条件下蒸发成气态,随后沉积到基体表面上形成一层薄膜的一种表面处理技术。PVD镀层技术应用十分广泛,如在电子、半导体、航空航天等行业中都有广泛的应用。但是,产生了这样一个问题:如何保证镀层的质量?因此,对PVD镀层的检测成为一项重要的工作。

PVD镀层主要有电弧离子镀(arc ion plating)、磁控溅射(magnetron sputtering)等方法。因此,根据不同的方法,采用不同的检测手段,但是主要的检测手段如下:

1. 厚度检测

PVD镀层的厚度决定了薄膜的性质。目前市场上已经有多种厚度测试仪器,如电子探针显微镜(SEM)、X射线荧光光谱仪(XRF)、光学显微镜(OM)、原子力显微镜(AFM)等。其中,电子探针显微镜和X射线荧光光谱仪应用最为广泛。

2. 摩擦系数测量

摩擦系数是反映涂层摩擦性质的参数。一般可以采用球盘实验法(球盘试验机)或滑动试验机进行测量。

3. 高温氧化性能测试

在一些高温环境下,例如高温汽油引擎、发动机排气阀、航空航天领域等,PVD镀层的高温氧化性能是十分重要的。目前在薄膜高温氧化性能研究中,最普遍的做法是采用氢氧火焰进行加热,检测层与基体之间的氧化时间及阻挡时间。

4. 粘接力测试

粘接力是指涂层与基体之间的结合力,一般可以采用剥离试验进行测量。常用的设备有微用力剥离仪、落锤式剥离仪、球柄式剥离仪等。

5. 硬度测试

硬度是PVD镀层的另一个重要参数。检测可以采用显微硬度计、超声表面硬度仪等设备进行测量。

总之,在PVD镀层生产与应用过程中,常规检测是不可或缺的一个环节。只有通过有效的检测手段,才能保证PVD镀层的品质和技术性能,为利用PVD镀层技术的更广泛应用提供强有力的保障。