平面度是一个用于描述表面在水平方向上的平滑程度的概念。平面度是通过测量平面表面与与理想平面的距离来衡量的。这个距离越小，表明平面度越高，表面越平整。因此，对于某些需要非常平直表面处理的产业，如半导体加工、汽车制造、航天工业等，测量平面度是必须的。
为了测量平面度，需要一些专用的工具来协助。这些工具通常包括：
1. 平台束仪：这是一种高精度的工具，用于测量平面表面的高度和倾斜度。平台束仪读数非常精确，可以达到0.0001毫米的纳米级别。平台束仪通常包括一对扫描头，一个用作参考，另一个用于测量平面表面。
2. 光学平板：光学平板是一种具有极高精度的工具，用于对比测试平面度。通常这种工具是由两块平行的玻璃板组成的，它们使用机械手轮的方式移动，以便使用器械预测测试对象的表面。光学平板的准确度可以达到5微米。
3. 表面测高仪：表面测高仪主要用来测量平面表面的高度差异。这些设备通常使用一系列传感器来测量表面高度差异，并将结果显示在数字屏幕上。表面测高仪的准确度通常为0.1微米。
4. 标准面板：标准面板是一种用于比较平面度和平整度的标准工具。标准面板可以用于确定任何给定表面的平面度是否正确。标准面板通常由具有高精度的表面和精密加工的边缘组成。标准面板不仅仅是用于测量平面度，也可以用于校准其它的平面度测量仪器。
以上是测量平面度的一些工具，但是每个工具都有其自身的优缺点。在选择使用的工具时，必须全面考虑，以确定最适合测量的方法和设备。熟悉这些仪器的人可以帮助您选择最好的工具，以便测试表面平直性并确保高精度测量结果。因此，对于需要测量平面度的应用，必须选择合适的工具，并聘请专业人员来执行。