共面度检测仪，也被称为振动共面度检测仪，是一种非接触式的光学检测仪器，用于检测光学元件表面的平行度，也可以检测光学系统中各个元件之间的共面度，用于确保光路的正常工作，是光学工程中维护和调整光学系统的重要工具之一。
共面度检测仪的工作原理基于干涉测量原理，通过分束器将单色激光照射到被测物体的表面，反射回来的激光与参考激光相干叠加形成干涉条纹。干涉条纹的形态与参考激光与反射激光的光程差有关，光程差越小条纹越密集，反之则越空散。共面度检测仪利用这种干涉条纹的形态来确定被测物体表面的平行度或共面度。
共面度检测仪的测量精度高，可达到微弱角度的测量精度，同时具有非接触、无划痕、无损伤、无污染等优点，适用于对各种光学元件的共面度和平行度的检测和调整，如反射镜和透镜、光栅和棱镜等。
共面度检测仪主要由光学部分、机械部分和控制部分组成，其中光学部分包括激光器、分束器、聚焦透镜、探测器等，机械部分包括平移台、旋转台等，控制部分则包括数据采集系统、控制软件等。在进行共面度检测时，首先将被测物体放置在平移台上，调整角度达到初始状态，然后打开激光器，通过控制软件控制平移台和旋转台的运动，改变被测物体的位置和角度，此时探测器会采集干涉条纹的图像，通过计算干涉条纹的形态来确定被测物体的平行度或共面度。
总的来说，共面度检测仪是一种高精度、非接触式的光学检测仪器，用于检测各种光学元件的平行度和共面度，并调整光学系统，保证光路的正常工作。随着科技的不断发展，共面度检测仪的功能和应用领域也在不断扩展，成为现代光学工程不可缺少的重要工具之一。